小流量用 面積流量計　（パージメーター） ●製品概要 NSPシリーズは、流体・流量範囲を標準化し、目盛を常時在庫することにより短納期を 実現した小流量用面積流量計です。 流れ方向は、これまでの小流量用面積流量計で一般的であった垂直配管用（下→上）、 パネル取付けタイプ（下後→上後）に加え、独自の設計による水平配管用（左→右または右→左）も取り揃えています。 また、水平配管用では、取り付けスペースの制約を考慮し、指示部上側と指示部下側を 用意いたしましたので、実際の配管に合わせた選択が可能です。 材質は本体にSCS14、テーパー管にパイレックスを使用していますので、高い耐食性を持つと同時に、樹脂製パージメータと比較し、優れた耐圧・耐熱性を有しています。
●配管タイプを下記より選んでください。
●仕様 タイプ 仕様 Rc1/4-Sタイプ (小型タイプ、 NSPO-4型のみ) Rc1/4-L タイプ Rc3/8 タイプ Rc1/2 タイプ Rc3/4 タイプ Rc1 タイプ 接続口径 Rc1/4 Rc1/4 Rc3/8 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 精度 ±8.0％FS ±5.0％FS ±3.0％FS 流　体 ┌ ｜ └ 液体（水相当）用 ・・・ 流量単位をL/min（またはmL/min）と L/hの（またはm3/h）二重目盛 気体（Air/N2）用 ・・・ 流体をAirとN2ガスの二重目盛 ※Rc1/4-Lタイプのみ、Ar用、CO2用（いずれも単目盛）もご用意しています。 最高使用圧力 0.8MPa 0.6MPa 最高使用温度 90℃（フロート材質がPVCの場合、50℃）
●NSP-1型 (Rc1/4-L タイプ・Rc3/8 タイプ)
外形図	No. 部品名 材質 1 上ブロック SCS14 2 ガスケット NBR 3 上部ストッパ PFA / POM 4 ガイド棒※ SUS304 5 バックフレーム SUS304 6 リアフレーム SUS304 7 フロート SUS304/チタン ガラス/カーボン PVC/アルミ 8 保護カバー PC 9 テーパー管 耐熱ガラス 10 下部ストッパ PFA/PTFE/POM 11 固定ピース SUS304 12 Oリング NBR 13 下ブロック SCS14
※ Rc1/4-Lタイプにはガイド棒はありません
形式／寸法 d W L D1 D2 Rc1/4-L タイプ Rc1/4 31.5 165 36.5 20 Rc3/8 タイプ Rc3/8 40 210 44.5 24
パネルカット図	形式／寸法 P1 P2 Rc1/4-L タイプ 70 18 Rc3/8 タイプ 100 22
●NSP-1型 (Rc1/2タイプ・Rc3/4 タイプ・Rc1 タイプ)
外形図	パネルカット図
No. 部品名 材質 Rc1/2 タイプ Rc3/4・ Rc1タイプ 1 ブロック SCS14 SCS13 2 ガスケット NBR 3 上部ストッパ POM PP 4 ガイド棒 SUS304 5 テーパ管 耐熱ガラス 6 フロート SUS304/PVC/ アルミ 7 保護カバー PC 8 支柱 SUS303	No. 部品名 材質 Rc1/2 タイプ Rc3/4・ Rc1タイプ 9 フレーム SUS304 10 下部ストッパ POM PP 11 六角穴付き ボルト SUS304 12 Oリング※ − NBR 13 ダンパ※ − NBR/ EPDM 14 六角穴付き ボタンボルト SUS304
※ Rc1/2タイプにはOリング・ダンパはありません
外形寸法（2012年7月販売分より寸法が変更になっています。） タイプ/寸法 d W L D1 D2 Rc1/2タイプ Rc1/2 47.3 210 49.5 24.5 Rc3/4 タイプ Rc3/4 53.3 224 55 27 Rc1 タイプ Rc1 59.3 250 61 30
パネルカット寸法（2012年7月販売分より寸法が変更になっています。） タイプ/寸法 P1 P2 P3 P4 φh Rc1/2タイプ 110 30 13 163 8.5 Rc3/4 タイプ 110 36 18 186 8.5 Rc1 タイプ 120 40 23 207 10.5
●NSP-5型、NSP-6型 (Rc1/4-L タイプ・Rc3/8 タイプ・Rc1/2 タイプ)
外形図	No. 部品名 材質 1 トップブロック SCS14 2 Oリング NBR 3 ガスケット NBR 4 上部ストッパ PFA/POM 5 戻り管 SUS304 6 メインフレーム SUS304 7 フロートガイド※ SUS304 8 フロート SUS304/チタン ガラス/カーボン PVC/アルミ 9 保護カバー PC 10 テーパ管 パイレックス 11 下部ストッパ PFA/PTFE/POM 12 ボトムブロック SCS14
※ Rc1/4-Lタイプには、フロートガイドはありません。
形式／寸法 d W1 W2 L1 L2 D1 D2 Rc1/4-L タイプ Rc1/4 29 50 143 10 37 16 Rc3/8 タイプ Rc3/8 37 60 183 12 46.5 19.5 Rc1/2 タイプ Rc1/2 44 70 210 14 59 23.5
パネルカット図	形式／寸法 P1 P2 P3 Rc1/4-L タイプ 58.4 34 17 Rc3/8 タイプ 100 32 17 Rc1/2 タイプ 100 51 24
●NSP-5型、NSP-6型 (Rc3/4 タイプ・Rc1 タイプ)
外形図	No. 部品名 材質 1 トップブロック SCS13 2 ガスケット NBR 3 上部ストッパ PP 4 フロートガイド SUS304 5 テーパ管 パイレックス 6 保護カバー PC 7 フロート SUS304/アルミ 8 戻り管 SUS304 9 フレーム SUS304 10 ボトムブロック SCS13 11 下部ストッパ PP
形式／寸法 d W1 W2 L1 L2 D1 D2 Rc3/4 タイプ Rc3/4 59 105 248 18 76 33 Rc1 タイプ Rc1 68 120 279 21 89 39
パネルカット図	形式／寸法 P1 P2 P3 Rc3/4 タイプ 110 49 36 Rc1 タイプ 120 58 40
●NSP-7型、NSP-8型 (Rc1/4-L タイプ・Rc3/8 タイプ・Rc1/2 タイプ)
外形図	No. 部品名 材質 1 トップブロック SCS14 2 Oリング NBR 3 ガスケット NBR 4 下部ストッパ PFA/PTFE/POM 5 戻り管 SUS304 6 メインフレーム SUS304 7 フロートガイド※ SUS304 8 フロート SUS304/チタン ガラス/カーボン PVC/アルミ 9 保護カバー PC 10 テーパ管 パイレックス 11 上部ストッパ PFA/POM 12 ボトムブロック SCS14
※ Rc1/4-Lタイプには、フロートガイドはありません。
形式／寸法 d W1 W2 L1 L2 D1 D2 Rc1/4-L タイプ Rc1/4 29 50 143 10 37 16 Rc3/8 タイプ Rc3/8 37 60 183 12 46.5 19.5 Rc1/2 タイプ Rc1/2 44 70 210 14 59 23.5
パネルカット図	形式／寸法 P1 P2 P3 Rc1/4-L タイプ 58.4 34 17 Rc3/8 タイプ 100 32 17 Rc1/2 タイプ 100 51 24
●NSP-7型、NSP-8型 (Rc3/4 タイプ・Rc1 タイプ)
外形図	No. 部品名 材質 1 トップブロック SCS13 2 ガスケット NBR 3 上部ストッパ PP 4 フロートガイド SUS304 5 テーパ管 パイレックス 6 保護カバー PC 7 フロート SUS304/アルミ 8 戻り管 SUS304 9 フレーム SUS304 10 ボトムブロック SUS13 11 下部ストッパ PP
形式／寸法 d W1 W2 L1 L2 D1 D2 Rc3/4 タイプ Rc3/4 59 105 248 18 76 33 Rc1 タイプ Rc1 68 120 279 21 89 39
パネルカット図	形式／寸法 P1 P2 P3 Rc3/4 タイプ 110 49 36 Rc1 タイプ 120 58 40
●NSPO-4型 (Rc1/4-Sタイプ・Rc1/4-Lタイプ)
外形図	パネルカット図
No. 部品名 材質 1 六角穴付 止めネジ SUS304 2 本体A SCS14 3 固定ピース SUS316 4 Oリング NBR 5 下部ストッパ PFA/PTFE 6 テーパ管 パイレックス 7 背板 SUS304 8 フロート ガラス/カーボン /SUS304	No. 部品名 材質 9 保護カバー PC 10 上部ストッパ PFA 11 ガスケット NBR 12 Oリング NBR 13 本体B SCS14 14 ニードルシャフト SUS316 15 ニードルシリンダ SUS316 16 ハンドル POM
形式／寸法 W1 L1 L2 D1 D2 P1 Rc1/4-S タイプ 31.5 130 90 58〜64 30.6 90 Rc1/4-L タイプ 31.5 165 125 58〜64 30.6 125
●NSPO-4型 (Rc3/8 タイプ・Rc1/2 タイプ)
外形図	パネルカット図
No. 部品名 材質 1 六角穴付 止めネジ SUS304 2 本体A SCS14 3 固定ピース SUS316 4 Oリング NBR 5 下部ストッパ POM 6 テーパ管 パイレックス 7 背板 SUS304 8 フロート PVC/アルミ /SUS304	No. 部品名 材質 9 フロートガイド SUS304 10 保護カバー PC 11 上部ストッパ POM 12 ガスケット NBR 13 Oリング NBR 14 本体B SCS14 15 ニードルシャフト SUS316 16 ニードルシリンダ SUS316 17 ハンドル POM
形式／寸法 W1 L1 L2 D1 D2 P1 P2 P3 B1 B2 Rc3/8 タイプ 39 210 159 73〜84 37.5 159 14.5 24 22.5 6 Rc1/2 タイプ 46.5 241 182 82〜96 44.5 182 18.5 30 28 7
●NSPO-4型 (Rc3/4タイプ・Rc1タイプ)
外形図	パネルカット図
No. 部品名 材質 1 六角穴付 止めネジ SUS304 2 本体A SCS13 3 固定ピース SCS13 4 Oリング NBR 5 下部ストッパ PP 6 テーパ管 パイレックス 7 背板 SUS304 8 フロート アルミ /SUS304	No. 部品名 材質 9 フロートガイド SUS304 10 保護カバー PC 11 上部ストッパ PP 12 ガスケット NBR 13 Oリング NBR 14 本体B SCS13 15 ニードルシャフト SUS304 16 ニードルシリンダ SCS13 17 ハンドル POM
形式／寸法 W1 L1 L2 D1 D2 P1 P2 P3 B1 B2 Rc3/4 タイプ 59.5 295 218 88〜110 54.5 218 28.5 39 34 7 Rc1 タイプ 66.5 328 246 98〜110 63.5 246 31 45 41 7